光刻胶的定义与应用
2024-01-19
光刻胶是什么?——详解光刻胶的应用及特性 光刻胶是一种在微电子工艺中广泛应用的材料,主要用于制造集成电路、光电子器件、生物芯片等微纳米器件。它的主要作用是在芯片表面形成一层保护膜,使得芯片在制造过程中不受污染和损伤。光刻胶还能够通过光刻技术实现微细图形的制备,是微电子工艺中不可或缺的材料之一。 一、光刻胶的基本概念 基本概念 光刻胶是一种光敏聚合物,其主要成分包括聚酰亚胺、光敏剂、溶剂等。在光刻过程中,光敏剂会吸收紫外光,并引发聚合反应,从而形成一个固定的图形。光刻胶的性能取决于其成分和制备工